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中国科学院微电子研究所专利：高K栅介质/金属栅叠层栅结构刻蚀后聚合物去除方法
中国科学院微电子研究所专利：一种对互连结构进行电容提取的方法
中国科学院微电子研究所 专利 对互连结构 电容提取
2023/7/10
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中国科学院微电子研究所专利：化学机械研磨去除率计算的方法及设备
中国科学院微电子研究所 专利 化学机械研磨 去除率计算
2023/7/10
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中国科学院微电子研究所专利：标准单元库版图设计规则检查验证方法
中国科学院微电子研究所 专利 标准单元库 版图设计规则
2023/7/10
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中国科学院微电子研究所专利：冗余金属填充方法和集成电路版图结构
中国科学院微电子研究所 专利 冗余金属 填充方法 集成电路版 图结构
2023/7/10
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中国科学院微电子研究所专利：电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
中国科学院微电子研究所 专利 电感耦合 等离子体线圈 等离子体 注入装置
2023/7/10
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