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中国科学院微电子研究所专利：一种半导体器件的替代栅集成方法
中国科学院微电子研究所 专利 半导体器件 替代栅 集成方法
2023/7/10
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中国科学院微电子研究所专利：一种分子尺度界面SiO2的形成和控制方法
中国科学院微电子研究所专利：高稳定性非晶态金属氧化物TFT器件
中国科学院微电子研究所 专利 高稳定性 非晶态 金属氧化物 TFT器件
2023/7/10
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中国科学院微电子研究所专利：低源漏接触电阻MOSFETs及其制造方法
中国科学院微电子研究所专利：一种制作晶体管和半导体器件的方法
中国科学院微电子研究所 专利 晶体管 半导体器件
2023/7/10
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