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中国科学院微电子研究所专利：亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法
中国科学院微电子研究所 专利 亚波长 极紫外 金属透射光栅
2023/7/10
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中国科学院微电子研究所专利：一种现场可编程门阵列芯片布局方法
中国科学院微电子研究所专利：一种带有线序自适应功能的串行数据收发控制电路
中国科学院微电子研究所专利：一种集成电路的器件参数优化方法
中国科学院微电子研究所 专利 集成电路 器件参数优化
2023/7/7
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中国科学院微电子研究所专利：一种用于FPGA的跨平台多层次集成设计系统
中国科学院微电子研究所专利：一种硅基绝缘体上锗衬底结构及其制备方法
中国科学院微电子研究所专利：提高化学机械平坦化工艺均匀性的方法
中国科学院微电子研究所 专利 化学机械 平坦化工艺 均匀性
2023/7/7
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中国科学院微电子研究所专利：浅沟槽隔离化学机械平坦化方法
中国科学院微电子研究所 专利 浅沟槽 隔离化学机械 平坦化
2023/7/7
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