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中国科学院微电子研究所专利:高稳定性非晶态金属氧化物TFT器件
中国科学院微电子研究所专利:低源漏接触电阻MOSFETs及其制造方法
中国科学院微电子研究所专利:一种MOS器件及其制造方法
中国科学院微电子研究所专利:一种制作晶体管和半导体器件的方法
中国科学院微电子研究所专利:半导体结构和形成该半导体结构的方法
中国科学院微电子研究所专利:光电探测叠层、半导体此外探测器及其制造方法
中国科学院微电子研究所专利:多栅器件的形成方法
中国科学院微电子研究所专利:金属源漏SOI MOS晶体管及其形成方法
中国科学院微电子研究所专利:一种研磨垫清洗方法和装置
中国科学院微电子研究所专利:互连结构及其形成方法
中国科学院微电子研究所专利:一种嵌入区的形成方法以及嵌入源漏的形成方法
中国科学院微电子研究所专利:穿硅通孔结构及其形成方法
中国科学院微电子研究所专利:石墨烯器件及其制造方法
中国科学院微电子研究所专利:衬底结构、半导体器件及其制造方法
中国科学院微电子研究所专利:半导体器件结构及其制作方法

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