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中国科学院微电子研究所专利:提高化学机械平坦化工艺均匀性的方法
透明介质中带电粒子的运动速度大于介质中的光速时就会产生切伦科夫辐射光。搭建了基于切伦科夫辐射光的强流电子束均匀性诊断系统,实现了时间和空间分辨的纳秒级电子束均匀性光学诊断。利用程序对诊断系统进行设计。在此基础上对两种天鹅绒阴极发射均匀性进行光学诊断测量。结果表明:在相同电参数下,碳纤维天鹅绒较化纤天鹅绒具有更好的发射性能,与之对应的切伦科夫辐射光斑面积更大,其亮度扫描曲线不但中心增强区域较化纤天鹅...
研究采用不同的熔炼速度,电子束冷床熔炼TC4钛合金铸锭成分的均匀性。结果表明:电子束冷床熔炼出的铸锭成分符合国家标准,熔炼效果良好。在轴向上,从铸锭的顶部至底部,Al元素的含量呈下降的趋势,并且随着熔炼速度的降低,其下降的趋势增加;V元素分布非常均匀,没有偏析现象出现。在径向上,铸锭的各合金元素分布均匀。The composition uniformity of TC4 alloys ingot ...
西安电子科技大学微波技术基础课件Chapter 28 不均匀性
本文导出了横电磁波传输室(TEM Cell)电场的纵向不均匀性表达式。数值结果与M.L.Crawford(1977)的实验值吻合较好。该结果可用于校正测量探头位置偏差带来的测量误差,从而提高用TEM Cell进行电磁兼容性试验和天线探头校准的测量精度。
电磁波与电子注的互作用不仅与电子注的特性有关,也与波场的极化、空间特性紧密相关。本文就小回旋电子注的情况采用由4个运动常数描述的未扰分布函数,根据动力学理论一般地分析了TEM模场空间不均匀性对互作用的影响,所得结果表明互作用产生的高次谐波依赖于波场空间不均匀性;电子注的位置空间不均性和场的空间不均匀性有可能共同产生一种新的不稳定性,该不稳定性与相对论效应无关。
理论分析了氘氚层外表面的温差与其粗糙度间的关系;以法国兆焦激光装置LMJ为原型,利用计算流体力学程序Fluent,分别模拟了靶丸轴向偏离黑腔中心不同尺度和烧蚀层存在不同大小的非均匀厚度对氘氚层温度分布的影响,求得了这两种误差引起氘氚层厚度的非均匀度。结果表明:为了满足点火靶的要求,靶丸轴向偏离腔体中心的尺度须在8.5 μm内,烧蚀层轴向粗糙度则应控制在0.72 μm内。
为了在客体密度重建过程中采用迭代法扣除散射X射线的影响,提出了以散射分布均匀为主要目的的闪光照相系统设计思想。在介绍散射分布均匀性定义的基础上,分析了均匀扣除散射所带来的光程差。采用蒙特卡罗方法研究了系统放大倍数、照相距离以及后防护锥到图像接收系统的距离对散射分布均匀性的影响。结果表明:后防护锥到图像接收系统的距离是影响散射分布形状和散射照射量大小的一个主要因素;当后防护锥到图像接收系统的距离为5...
Cd1-yZnyTe的Zn组分面分布及均匀性控制
设计并制作了空心阴极、钮扣阴极、针阴极和条形阴极,利用CCD照相,在5cm×5cm口径范围内,分别对四种阴极放电的空间均匀性进行了研究。实验表明,在预电离电压800V,主放电电压3kV和气体气压约30Pa的条件下,利用空心阴极放电,能够获得空间较为均匀的放电等离子体。放电等离子体可以用作普克尔盒电光开关的等离子体电极。
分别用自制浸渍碘化铯(CsI)针式环状碳纤维阴极和环状不锈钢阴极所产生的电子束轰击尼龙目击靶,研究碳纤维阴极发射均匀性。在碳纤维阴极电子束轰击的目击靶上得到了均匀的烧蚀痕迹,而不锈钢阴极电子束轰击的目击靶上烧蚀痕迹不均匀,表明碳纤维阴极发射电子束的均匀性优于不锈钢阴极。分析认为两阴极不同的发射机制及其所特有的材料性质和结构导致其发射电子束均匀性的差异。用光学显微镜和电子显微镜对不锈钢阴极尖端和碳纤...
镀制了多种氧化物介质薄膜。用R-on-1方法测定了膜层的激光损伤阈值。引入数据处理方法,对测试数据进行分析。结果表明,基片清洗后,若放置一段时间再镀膜,则会影响到镀膜后膜层损伤阈值的均匀性,但对损伤阈值自身大小没有影响。测试激光参数对阈值均匀性也有一定影响。
使用LARED-S程序,参照NIF直接驱动DT点火靶,模拟研究了激光非均匀性对高收缩比球内爆内界面变形的影响。2维数值模拟计算表明:直接驱动高收缩比内爆对驱动激光非均匀性非常敏感,内界面流体不稳定性的发展严重破坏靶丸的对称压缩,使中心热斑的体积显著减小。以最大压缩时扰动增长幅度不超过热斑半径的1/3为限,模拟给出不同模数的低阶扰动模(模数小于等于12)对驱动激光均匀性的要求在2.5%~0.25%之...
研究了激光相干性对照明均匀性的影响,为照明激光器的选择提供了理论参考。其中,部分相干高斯光束分解为模式间相互独立的厄米-高斯光束的迭加。采用相位屏的近似处理方法对激光通过大气湍流的传输进行计算模拟。数值模拟的结果表明:当照明光束的空间相干性降低时,其照明均匀度逐步提高。因此对于照明激光器而言,选择空间相干性较差的激光器对其照明均匀度更加有益。
通过建立物理模型,求解层流N-S方程,用数值方法模拟了二维热射流流场的有序大涡结构,计算了流场不同流向位置的光程值,分析了射流流场混合层的光学特性,得出了气动光学流场由于流场中大尺度涡结构的存在所引起的光学不均匀性,大涡结构中奇点所导致的光学畸变最大,在一定条件下大涡结构有散焦作用。

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