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中国科学院微电子研究所专利：衬底结构、半导体器件及其制造方法
中国科学院微电子研究所 专利 衬底结构 半导体器件
2023/7/10
中国科学院微电子研究所专利：衬底结构、半导体器件及其制造方法
中国科学院微电子研究所专利：一种硅基绝缘体上锗衬底结构及其制备方法