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搜索结果:
1-1
共查到
“
化学分离工程 循环氢气
”
相关记录1条 . 查询时间(0.066 秒)
中国科学院大连化学物理研究所专利:一种多晶硅生产
循环氢气
提纯
氢气
的方法
中国科学院大连化学物理研究所
专利
多晶硅
循环氢气
提纯氢气
2024/1/29
一种多晶硅生产过程中三氯氢硅还原
循环氢气
提纯
氢气
的方法。采用金属钯复合膜
氢气
纯化器对三氯氢硅还原
循环氢气
中的各种杂质进行拦截,使得
氢气
的纯度提高1-3个数量级,各种杂质浓度降低1-3个数量级。当
循环氢气
中氯化氢HCl含量超过3ppm时,需要采取必要的脱氯措施使得HCl含量降低到0.5ppm以下。利用该方法提纯的
氢气
生产多晶硅,不仅可以明显提高多晶硅产品的纯度和质量,而且可以明显降低生产过程的氢耗、...
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