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一种多晶硅生产过程中三氯氢硅还原循环氢气提纯氢气的方法。采用金属钯复合膜氢气纯化器对三氯氢硅还原循环氢气中的各种杂质进行拦截，使得氢气的纯度提高1-3个数量级，各种杂质浓度降低1-3个数量级。当循环氢气中氯化氢HCl含量超过3ppm时，需要采取必要的脱氯措施使得HCl含量降低到0.5ppm以下。利用该方法提纯的氢气生产多晶硅，不仅可以明显提高多晶硅产品的纯度和质量，而且可以明显降低生产过程的氢耗、...
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种从含硫混和气中提纯氢气的方法
中国科学院大连化学物理研究所 专利 硫 混和气 提纯氢气
2023/11/15
本发明提供一种利用钯合金复合膜从含硫混和气分离氢气的方法，采用化学镀方法，制备成高透量钯合金复合膜，将钯合金复合膜应用于含硫的混和气分离，H2S含量为0.5～20ppm。在分离压力0.2～1.0MPa，分离温度300℃～500℃下，分离出氢气纯度达99%以上。同时钯合金复合膜体现出了较好的抗硫特性，相对于纯钯金属膜，可用于工业上含硫混合气的处理，有着较好的应用前景。