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1-1
共查到
“
光学工程 微光栅结构
”
相关记录1条 . 查询时间(0.24 秒)
纳秒激光刻蚀玻璃基质铬薄膜直写
微光栅结构
纳秒激光
微光栅结构
衍射效率
2009/8/13
利用波长为351 nm的半导体泵浦全固态脉冲激光器,采用双光束干涉方法,对蒸镀在石英玻璃衬底上的铬薄膜直接刻蚀形成
微光栅结构
的方法进行了实验研究.通过实验,分析了激光能量和脉冲数与
微光栅结构
槽形和一级衍射效率之间的关系.利用光学显微镜和原子力显微镜检测分析
光栅
槽形,测得槽深为253 nm的最佳
微光栅结构
,并测得其在波长为532 nm的激光的一级衍射效率为6.5%.结果表明:在激光能量为1 150 ...
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