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搜索结果: 1-1 共查到“航空、航天科学技术基础学科热膜传感器”相关记录1条 . 查询时间(0.406 秒)

溅射-电镀微成型制造柔性热膜传感器阵列溅射电镀微成型热膜传感器柔性剪应力 2011/11/25

为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底,在衬底上溅射沉积金属镍膜,并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜。然后在引线区底膜上电镀沉积铜膜,再剥离成型铜引线。通过电镀可以经济快速地获得较厚的引线铜膜,使得引线电阻远小于热敏元件阻值,有利于减小引线的热敏干扰。经热敏性能测试,其电阻温度系数达到3...