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1-1
共查到
“
航空、航天科学技术基础学科 溅射
”
相关记录1条 . 查询时间(0.146 秒)
溅射
-电镀微成型制造柔性热膜传感器阵列
溅射
电镀
微成型
热膜传感器
柔性
剪应力
2011/11/25
为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底,在衬底上
溅射
沉积金属镍膜,并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜。然后在引线区底膜上电镀沉积铜膜,再剥离成型铜引线。通过电镀可以经济快速地获得较厚的引线铜膜,使得引线电阻远小于热敏元件阻值,有利于减小引线的热敏干扰。经热敏性能测试,其电阻温度系数达到3...
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