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多色焦平面列阵探测器用红外分光列阵滤光片。
该实用新型涉及红外探测器的一种性能测试装置,特别是红外焦平面列阵探测器芯片的性能测试装置。在红外焦平面列阵探测器的制备过程中,列阵芯片的性能测试是必不可少的。该实用新型的目的为克服上述已有技术中存在的问题,将原来敞开式液氮致冷改为封闭式的液氮致冷,并能起到电磁屏蔽的作用:保证探针和像元的接触良好而不损坏电极:探针的移动用机械驱动,提高工作效率。该实用新型的解决方案是将芯片致冷部分、探针测量部分放入...
该成果应用了国际上光学薄膜和列阵器件前沿新技术,并提出了新颖的掩模分离和薄膜加工技术,研制出0.1×0.2毫米的微型滤光片列阵,该滤光片列阵在航天航空遥感领域具有重要应用前景。采用新技术在2.4×3.5毫米基片上集成了三通道短波红外微型滤光片列阵,从而成功地研制出四元三通道多光谱短波红外列阵探测器,该探测器对工业非接触式在线检测具有广泛的应用价值。
一种带有异形冷屏的长列阵平面探测器,包括:杜瓦、焦平面列阵器件、异形冷屏。光经过冷屏入射到焦平面列阵器件上,形成光电流。冷屏和列阵器件装在杜瓦里,冷屏的形状专门设计,它既可以限制背景通量,借此降低背景光电流的散粒噪声,从而可以提高信噪比和探测率;又可以改善因列阵的长度所带来的探测率随位置的不均匀性。

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