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多色焦平面列阵探测器用红外列阵滤光片
滤光片 列阵探测器
2008/9/26
该成果应用了国际上光学薄膜和列阵器件前沿新技术，并提出了新颖的掩模分离和薄膜加工技术，研制出0.1×0.2毫米的微型滤光片列阵，该滤光片列阵在航天航空遥感领域具有重要应用前景。采用新技术在2.4×3.5毫米基片上集成了三通道短波红外微型滤光片列阵，从而成功地研制出四元三通道多光谱短波红外列阵探测器，该探测器对工业非接触式在线检测具有广泛的应用价值。