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2024年3月13日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所硅基材料与集成器件实验室蔡艳研究员、欧欣研究员联合团队,在通讯波段硅基铌酸锂异质集成电光调制器方面取得了重要进展。团队成员利用上海微技术工业研究院标准180 nm硅光工艺在八英寸 SOI上制备了硅光芯片,然后基于“离子刀”异质集成技术(图1),通过直接键合的方式将铌酸锂与SOI晶圆实现异质集成,并通过干法刻蚀技术实现了硅光芯片波导与LN电光...
以硅通孔为核心的三维系统集成技术及应用
磁随机存储器(MRAM)因具有非易失性、低功耗以及高访问速度等特点,在未来新兴存储领域颇具应用前景。尤其是基于自旋轨道矩(SOT)技术的MRAM存储器具有超高速、高耐久性的优势,更适用于高速缓存。然而,在SOT-MRAM集成中存在技术瓶颈,制约了其走向应用。隧道结的刻蚀工艺是关键的技术挑战和难点之一。在SOT隧道结(SOT-MTJ)刻蚀过程中,金属副产物的反溅使得MTJ的MgO隧穿势垒层(厚度~1...
光子器件的小型化、集成化和芯片化,是未来光学系统发展的重要趋势,在光通信、光传感、光显示等众多应用领域具有重要的研究价值,相关研究对于未来高速光通信系统、高精度光学惯性传感技术的发展具有战略意义。东南大学显示技术研究中心团队在微纳集成光学通信器件、微波光子和光学惯性器件技术等方向积累了多年的研究经验,从光波导器件设计研制、系统集成、芯片开发到封装测试取得了众多成果,研制出多种微米尺寸集成光学核心功...
2021年8月12日下午,东南大学电子科学与工程学院、东南大学微电子学院举办了主题为“光电器件与集成技术”的第十期微·电学术沙龙。本期沙龙邀请了王俊嘉、毛海峰、李昆及伍磊等四位青年老师进行工作分享。活动由学院青委会秘书长黄晓东老师主持,以线上方式进行,吸引了70多名的师生参加。
近日,广东省科技厅正式公布《广东省科学技术厅关于下达2021年省科技创新战略专项资金(省重点实验室新立项与运行评估)项目计划的通知》,由我校半导体科学技术研究院李京波教授牵头申报的广东省芯片与集成技术重点实验室位列其中,并获资助经费300万元,这是学校大力发展“新工科”取得的又一新突破,至此,学校获批建设的广东省重点实验室数量达到11个。据了解,本年度全省共立项建设2个芯片领域省重点实验室。
近日,暨南大学理工学院光电工程系光波导集成技术与器件团队在国际顶级期刊《Nano Letters》(IF=11.238)上发表重要研究成果:Plasmonic Helical Nanoantenna As a Converter between Longitudinal Fields and Circularly Polarized Waves, Nano. Lett. 10.1021/acs.n...
2019年11月9日,我校第三届电力电子协同创新论坛“高功率密度封装集成技术”专题研讨会在电气大楼举行。参与活动的电气行业代表共聚一堂,围绕电力电子行业的创新发展进行了交流和探讨。9日上午,论坛在电气大楼B205报告厅举行了开幕式。美国国家工程院院士、中国工程院外籍院士,我校荣誉教授李泽元(Fred C. Lee)博士做了题为“Power Electronics Packaging and Int...
在刚刚结束的2019年国际功率半导体器件与集成电路年会(ISPSD 2019)上,电子科技大学功率集成技术实验室(PITEL)以16篇论文(其中电子科技大学为第一单位14篇)的录取数摘得本次会议团队发表论文数量第一名。这是该团队自2017年以来连续第三年获得该荣誉,再一次为电子科技大学以及实验室赢得了掌声。来自全球的600余名学者和工程技术人员参加了本次会议,创历届之最。本次会议中,PITEL发表...
山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室2019年博士研究生招生专业目录。
近日,国家科技部高新司组织专家对国家863计划先进能源技术领域“大型光伏(并网、微网)系统设计集成技术研究示范及装备研制”重大项目进行验收,中国科学院电工研究所研究员许洪华代表项目组进行总体汇报。经专家质询与项目答辩,评审专家组一致认为项目圆满完成了立项研究内容,达到考核指标要求,同意该项目通过技术验收。
2017年6月30日,由我校科技处、科协主办,光子所承办、陕西省物理学会协办的“西北大学杨钟健学术讲座”暨2017光电子与光子集成技术国际研讨会在我校太白校区举行。英国格拉斯哥大学约翰•马什(John Marsh)院士,中科院西安光机所、上海远趾信息科技有限公司、西安全波激光芯片技术有限公司、清华大学深圳研究院、英国Aggreko有限公司、英国QD Light有限公司等单位专家学者以及...
近日,由中国微米纳米技术学会主办,电子科技大学承办的第二届“微纳传感器与系统集成技术”青年学者论坛在清水河校区举行。来自清华大学、中国科学院、中国工程物理研究院、上海交通大学、吉林大学、西安交通大学、华中科技大学、哈尔滨工业大学、大连理工大学、重庆大学、中北大学等全国26多所高校的60余位微纳传感器与系统集成技术领域知名专家和学者汇聚成电,围绕国家中长期科学和技术发展以及“中国制造2025”,结合...
中国科学院半导体研究所光电子芯片集成技术研究组的研究方向有:硅基激光器、硅基高速电光调制器、硅基波分复用器件、硅基模分复用器件、高速大规模硅基光交换阵列、 偏振控制器件、硅基滤波器件、硅基集成光电探测器、硅基波导光学耦合技术和工艺设备研发等。

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