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2015年5月28日至29日,2015年中国平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛在清华大学顺利召开。本次论坛由中国平坦化技术联盟主办,清华大学承办,在中国半导体行业协会、中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会、集成电路材料产业技术创新战略联盟指导下,来自海内外平坦化技术相关领域的专家、学者和研究生共一百余人参加了论坛。清华大学校长助理、机械工程学院院长尤政院士,国家自然科学基金委工程...