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“
电子科学与技术 浮栅结构
”
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中国科学院新疆理化技术研究所专利:一种基于
浮栅结构
半导体晶体管的辐射剂量测量方法
中国科学院新疆理化技术研究所
专利
浮栅结构
半导体晶体管
辐射剂量测量
2023/12/4
本发明提供一种基于
浮栅结构
半导体晶体管的辐射剂量测量方法,主要解决现有技术无法对
浮栅结构
半导体晶体管的辐射剂量进行精确测量的技术问题。本发明通过对待测晶体管进行充电后测量,辐照后测量的方法并基于恒流法获取待测晶体管在辐射后与辐射前阈值电压的差值,并依据此方法获得不同辐射剂量下阈值电压的差值,最终计算得到待测晶体管阈值电压的差值随辐射剂量累积的变化曲线。本发明对
浮栅
器件进行多次编程和擦除,从而大幅提...
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