搜索结果: 1-15 共查到“知识库 光学仪器及技术 元件”相关记录62条 . 查询时间(0.14 秒)
由于光的传导效应，在过去的很长一段时间里，科学界一致认为传统光学显微推理系统的最小辨别能力存在极限，显微系统能辨别出的最小信息细节大约在照明光波长的一半量直到上世纪90年代，许多科学家提出了多种新型的显微成像方案来突破短路极限。
为了利用磁流变加工实现对大口径平面光学元件波前中频误差的控制，研究了磁流变抛光去除函数的频谱误差校正能力和磁流变加工残余误差抑制方法。首先，比较了模拟加工前后元件中频功率谱密度（PSD1）误差和元件PSD曲线的变化，分析了磁流变去除函数的可修正频谱误差范围。然后，利用均匀去除方法分析了加工深度、加工轨迹间距和去除函数尺寸等磁流变加工参数对中频PSD2误差的影响，提出了抑制中频PSD2误差的方法。最...
针对355 nm激光作用于熔石英光学元件后其损伤阈值容易变差的问题，提出使用1.7%纯HF溶液和0.4% HF与1.2% NH4F混合的BOE溶液对样品进行处理来提高它们的激光诱导损伤阈值（LIDT）。在相同的条件下将熔石英光学元件浸没到上述两种不同的刻蚀溶液中进行处理，通过测量刻蚀过程中元件重量变化来计算刻蚀速率，利用Zygo轮廓仪测试元件表面粗糙度，然后对355 nm激光照射下熔石英元件的损伤...
针对测量高功率激光驱动装置中大口径矩形反射光学元件的波前误差时测量角度和使用角度不完全相同引入的测量误差，提出了将测量角度下的反射波前转换到使用角度的反射波前的换算及恢复方法。首先分析了将斜入射测量角度下的波前转换到使用角度下波前的余弦换算方法，得到了实际测量角度与实际使用角度下的波前误差计算关系；然后计算并分析了双三次插值算法本身引起的中频PSD1（功率谱密度）误差，指出在满足有效口径测量的情况...
为了实现大口径平面光学元件的高精度加工，开展了磁流变加工技术的研究。介绍了磁流变加工原理及去除函数的数学模型。根据磁流变加工的特点，建立了元件整体加工的工艺流程，给出了元件加工的工艺要素。然后，开发了抛光斑的提取软件，并基于轨迹段划分的速度模式开发了工艺软件，分析了工艺软件的各项功能模块。最后，基于元件加工的工艺流程，对一件800 mm×400 mm的元件进行了加工实验。利用检测设备测得了元件的低...
为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求，设计制作了直径为400 mm 的聚酰亚胺（PI）薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形，然后将衍射图形复制到 PI 薄膜上得到菲涅尔衍射型薄膜元件。结合有限元法探究了薄膜复制过程中热应力的变化规律及降低热应力的方法，分析了影响薄膜衍射效率的因素及薄膜制作误差、温度变化对薄膜成像的影响， 最终实现了大...
建立了挠性支撑结构的力学模型及优化设计模型，以使光学元件挠性支撑结构同时满足元件定位的刚度要求和温度适应性的柔度要求，同时给出了相应的建模方法。考虑挠性支撑结构是由圆周对称分布的挠性单元组成的，故将挠性单元简化为超静定梁结构，应用虚功原理推导了挠性单元的径向及切向刚度。然后，假设光学元件为刚性体，根据力平衡条件及变形协调条件，推导了挠性支撑结构的整体刚度，并引入修正因子补偿了刚体假设带来的误差。最...
针对光刻投影物镜中光学元件X／Y／θ微动调整的工程需求，研制了一种基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构，并对其位姿正解进行了研究。建立了3-RRR柔顺并联机构的伪刚体模型，并采用矢量代数法理论推导了该机构的位姿正解，得到了它的理论雅克比矩阵。然后，在NASTRAN中建立了3-RRR柔顺并联机构的有限元模型，得到了仿真环境下该机构的位姿正解和雅克比矩阵。最后，对研制的3-RRR柔顺并联机构进...
为校正飞机上双曲率面共形窗口在全扫描视场范围内引入的静态和动态像差,设计了一种静态校正器结构.该校正器由三个含有倾斜和偏心的旋转对称元件组成,且每个元件的表面面形为偶次非球面.校正器相对于共形窗口的位置是固定的,且结构紧凑稳定.基于矢量像差理论,对校正器进行光学设计,并阐述了该校正器的像差校正原理,结果表明:在各扫描视场位置,共形窗口与校正器引入的矢量像散可以相互抵消,使得共形窗口在全扫描视场范围...
设计了一种错位双光栅色散元件,与条纹相机耦合实现了0.1~5 keV范围X射线时间分辨谱的测量.该色散元件由2 000 lp/mm和5 000 lp/mm两块子光栅在空间错位排布而成,低密度光栅测量低能段软X射线(100~1 000 eV),高密度光栅测量中能段软X射线(1 000~5 000 eV),通过空间错位实现能谱拼接.在同步辐射源上使用单色能点对其进行标定,获得了错位双光栅衍射效率的实验...
针对现有的衍射光学元件设计方法只适用于小角度衍射的情况, 本文提出了一种基于瑞利-索末菲衍射积分的设计方法, 可以用来设计具有大衍射角的衍射光学元件。先对目标光场进行坐标变换和强度调整, 再利用改进的Gerchberg-Saxton算法优化得到衍射光学元件的相位分布。分别采用本文方法和原有的基于夫琅禾费衍射积分的方法设计衍射光学元件实现线条结构光和不同角度方框图形的光场重构, 结果表明:原有的设计...
高重复频率DPL激光对光学薄膜元件损伤实验研究
光学薄膜 重频DPL 激光 驻波场修正 损伤机理
2013/11/4
光学薄膜的高重频激光损伤特性一直是激光薄膜研究者的重点。为了分析光学薄膜在高重频激光辐照下的损伤特性，探究其损伤机理，文中从实验出发，研究了重复频率10 kHz DPL 激光对光学薄膜元件的损伤特性。结果表明，修正膜层内的驻波场分布，降低膜层内高折射材料中的驻波场峰值可以提高高重频激光损伤阈值；从激光损伤形貌与辐照激光功率的关系上看，在高重频激光辐照下光学薄膜元件的损伤实质上是热效应和场效应共同作...
如何快速准确计算透镜焦面上的光斑质心坐标是大口径平面光学元件面形检测系统的核心问题之一，直接决定面形检测的精度和重复性。定义一个半径为r的探测窗口，根据到中心距离建立一维卷积模板，在光斑覆盖区域中寻找窗口内能量和局部最大的位置，确定光斑有效区域；再使用传统重心法计算有效区域质心；最后应用3σ准则进行误差处理。实验结果表明，该算法检测精度为0.1像素，各指标比传统阈值加权质心定位法提高约1 倍，面形...
红外衍射微光学元件的湍流波前模拟和再现
衍射理论 半导体技术工艺 波前 大气湍流
2013/9/20
院基于衍射微光学理论，发展了一种面向红外波段衍射微光学元件的设计和制作方法。采用标准半导体技术工艺流程制作了若干个器件。文中设计的红外衍射元件主要用于形成复杂的光场，其振幅和相位都能有效地得到控制。所制造的衍射微光学元件，通过在元件表面形成良好的相位图案，把普通的高斯光束转换成所需要的经大气湍流环境影响后的图形。该结构能够被用于产生湍流波前从而模拟大气湍流中的光场，进而再现波前以评估大气湍流的影响...