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2022年2月21日，辽宁省科学技术奖励大会在辽宁人民会堂隆重举行。会上，省领导为2020年度辽宁省科学技术奖励获奖代表颁发证书，中国科学院沈阳自动化研究所的“集束式半导体装备集成控制平台技术及应用”等3项研究成果荣获一等奖。沈阳自动化所所长史泽林应邀出席会议。会上，沈阳自动化所由于海斌研究员牵头的“集束式半导体装备集成控制平台技术及应用”项目和张奇峰研究员牵头的“深海机械手关键技术与应用”项目获...