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中国科学院半导体材料科学重点实验室科研项目国家重点基础研究发展规划项目(973)。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研项目国家高技术研究发展计划项目(863)。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研项目国家自然科学基金重点项目

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