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1-1
共查到
“
材料科学 SOI材料
”
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中国科学院新疆理化技术研究所专利:一种抗辐射加固
SOI材料
的总剂量辐射性能评估方法
中国科学院新疆理化技术研究所
专利
抗辐射
SOI材料
总剂量辐射
性能评估
2024/1/2
本发明涉及一种抗辐射加固
SOI材料
的总剂量辐射性能评估方法,该方法采用基于商用
SOI材料
和加固
SOI材料
制作的晶体管作为试验样品;对基于商用
材料
和加固
材料
的试验样品开展相同条件下的总剂量辐照试验,提取辐射在氧化物埋层中引入的氧化物陷阱电荷密度;对加固
材料
制作的晶体管,开展热载流子注入试验,提取热载流子应力在氧化物埋层中引入的电子陷阱电荷密度;基于以上三种陷阱电荷密度,获得加固
材料
氧化物埋层的电子陷...
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