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MEMS技术用于制造等离激元近红外光谱仪（图）
MEMS技术 近红外光谱仪 光谱学
2020/3/17
近红外光谱提供了物质独有的吸收光谱，因此可以区分气体种类。因此，需要小型化光谱仪来实现用于监测居住环境中的空气质量的紧凑型气体传感器。然而，常规的近红外光谱仪具有光栅以将入射光分散成不同的波长，因此光谱学需要较长的光程长度，难以将这些设备小型化。