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上海微系统所异质集成XOI课题组利用“万能离子刀”剥离和转移技术，将单晶压电薄膜与高声速、高导热的支撑衬底集成，研制出可同时激发声表面波和兰姆波的压电异质衬底，并基于上述衬底验证了适用于3G、4G、5G应用的高性能射频声学器件。相关技术方案于12月15日以“Surface Wave and Lamb Wave Acoustic Devices on Heterogenous Substrate f...
