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氚化钛膜中氦的热解吸行为初步研究
热解吸行为 氚化钛膜
2009/1/16
对He、Ti原子比n(He)/n(Ti)为0.004～0.300的7块氚化钛膜样品在1300K以下进行热解吸分析，以获得它们的热解吸谱。在低于1300K范围内，氚化钛膜共有4种氦的热释放峰，分别对应于贯穿至表面的氦泡、近表面的氦、体相中的氦泡和氦的小团簇。对这4种类型的氦释放峰的解吸温度和解吸量随膜中总氦量的变化分别进行分析，研究观测膜中各种状态存在的氦量随n(He)/n(Ti)增加的变化趋势。实...
磁控溅射沉积含He纳米晶钛膜制备
磁控溅射 氦含量 氦钛膜 平均晶粒尺寸
2009/1/16
采用直流磁控溅射方法，通过分别改变衬底温度及He分压来制备不同氦含量的钛膜。利用PBS、XRD、TEM及AFM分别对钛膜中的He含量、平均晶粒尺寸及膜的表面形貌进行分析。结果表明：在不同温度范围内，温度变化对所制备钛膜中He含量的影响明显不同；He含量与晶粒尺寸直接相关，氦原子进入钛膜后，抑制了晶粒的长大；随着钛膜中He与Ti的原子个数比由1.0%增加到11.9%，TEM测得的平均晶粒尺寸由约3...