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温度对中频磁控溅射沉积金属锆膜的影响中频磁控溅射锆膜氮化锆 2020/6/28

为了解决复杂环境下玻璃不耐腐蚀，致密性不理想的问题，以直流脉冲离子源辅助中频磁控溅射沉积在玻璃表面制备了纯锆镀层和氮化锆镀层，研究了沉积温度对其微观形貌、粗糙度、纳米压痕硬度的影响。结果表明：随沉积温度升高，锆膜/氮化锆膜中晶粒尺寸增大，膜层硬度下降；同时氮化锆晶粒间隙会随沉积温度升高而变小，膜层致密性随之提高。