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1-1
共查到
“
电子科学与技术 中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
”
相关记录1条 . 查询时间(0.437 秒)
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
半导体集成技术
2019/1/16
根据国家、
中国科学院
和
半导体所
的发展战略需要,2002年开始筹建综合性
半导体工
艺
技术
加工平台——
半导体集成技术工程研究中心
(以下简称
中心
)。
中心
拥有配套齐全的先进工艺平台、1700平米的超净工艺线和1100平米的办公用房,于2004年12月完成并投入使用。
中心
建立了规范的人员、服务和设备管理体系,具备了微纳电子学、光电子学以及微电子机械器件的
集成
加工及测试表征能力,对
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