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中国科学院金属研究所专利：移动式弧光放电离子镀膜设备
中国科学院金属研究所 专利 移动式 弧光放电 离子镀膜
2023/11/9
本实用新型涉及离子镀膜设备领域,具体为一种移动式弧光放电离子镀膜设备,可应用到飞机大型构件的功能化处理,也可推广应用到航天飞行器、大型客货船等大型或重型器件的表面耐磨、耐蚀以及各种功能性镀膜处理。抽气机组的抽气口与真空腔体的排气口相连接,蒸发源电源控制单元的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和蒸发源的靶材上；偏压电源的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和被镀工件上；复合真空计的高、低真空规探头分别...
中国科学院金属研究所专利：移动式弧光放电离子镀膜设备及其应用
中国科学院金属研究所 专利 弧光放电 离子镀膜
2023/10/16
本发明涉及离子镀膜设备领域,具体为一种移动式弧光放电离子镀膜设备及其应用,可应用到飞机大型构件的功能化处理,也可推广应用到航天飞行器、大型客货船等大型或重型器件的表面耐磨、耐蚀以及各种功能性镀膜处理。抽气机组的抽气口与真空腔体的排气口相连接,蒸发源电源控制单元的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和蒸发源的靶材上；偏压电源的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和被镀工件上；复合真空计的高、低真空规探头...