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中国科学院大连化学物理研究所专利：一种微流体驱动泵及其应用
中国科学院大连化学物理研究所 专利 微流体 驱动泵
2023/11/20
一种微流体驱动泵及其应用涉及全集成微流控芯片，特别提供了一种专门用于微流体驱动和控制的微量泵。本发明提供了一种微流体驱动泵及其应用。包括盖板和玻璃基板，盖板扣合在玻璃基板上，玻璃基板上设置有泵腔，泵腔两侧设有液体通道，泵腔通过其两侧的进液口和出液口与两侧的通道相通，进液口和出液口为锥台形；盖板上与泵腔相对的位置包埋有压电陶瓷片，压电陶瓷片在玻璃基板上的投影处于泵腔内；进液口为锥台形，锥台面积大的下...