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一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用，本发明以自然界中最易获得的太阳光作为曝光光源，避免了常规光刻中较为昂贵的光刻机的使用，待曝光的光刻胶平板放在与太阳光相垂直的方向曝光即可，通过UV能量检测器校正阳光下的曝光时长，可以得到光刻胶上各种尺寸微图案良好的曝光结果；这种方法简易、廉价、易于操作、环境友好，而且可以进行芯片的批量生产，期望有益于仪器购买基金不足或处于起步阶段的实验室进入到微...
具有三维聚焦功能的微流控芯片
微流控芯片 三维聚焦 SU-8胶 聚二甲基硅氧烷（PDMS） 倒模
2013/3/10
为了使用微流体细胞仪对细胞精确计数，采用紫外光刻工艺制作了能够真正实现三维聚焦功能的微流体检测芯片（微流控芯片）。使用聚二甲基硅氧烷（PDMS）进行二次倒模复制其结构以缩短微流控芯片制作周期、降低制作成本，并进行了芯片的封装与测试。首先，利用沉浸式光刻技术和斜曝光工艺制作了具有三维聚焦功能的SU-8微流沟道；然后，利用PDMS对所制作的SU-8微流沟道进行一次倒模，得到其负模结构；对负模结构进行表...