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椭圆偏振法测定在线Low-E玻璃的可见-近红外光学常数与膜厚
在线low-E玻璃 光学常数 椭圆偏振法 Lorentz双振子模型
2014/10/20
从在线Low-E玻璃光学机理出发, 用椭圆偏振光谱仪对在线Low-E玻璃功能层和过渡层的可见-近红外波段的光学常数进行研究.测量了样品在三个不同入射角的椭偏参数, 分别用Lorentz双振子模型和Cauchy模型来描述Low-E玻璃功能层和过渡层的光学色散特性.通过拟合椭偏参数获得在线Low-E玻璃的光学常数及每层膜厚度, 并用扫描电镜对样品的膜厚进行表征.结果表明, Lorentz双振子模型和C...
光学薄膜的椭圆偏振模型分析与数据处理
光学薄膜 椭圆偏振测量 薄膜参数
2009/9/17
椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测样品表面反射前后的偏振态的改变来获得薄膜材料的光学常数（折射率n、消光系数k）和薄膜厚度（d）的高精度、非接触测量方法。本文通过对光学薄膜的椭偏光谱分析研究，探讨了光学薄膜系统的模型（结构模型和色散模型）建立方法，并应用模拟退火算法（SA）来反演椭偏光谱测量数据。文中介绍了程序算法的建立与程序的编制，并对标准薄膜样品和自制的样品进行的测量和数据处理。比对实验结...