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中国科学院合肥物质科学研究院专利：大口径光学潜望式激光雷达三维扫描装置
中国科学院深圳先进技术研究院专利：激光三维扫描装置和激光三维扫描方法
中国科学院深圳先进技术研究院 专利 激光 三维扫描
2023/12/6
中国科学院深圳先进技术研究院专利：激光三维扫描装置和激光三维扫描方法
三维扫描技术在薄膜厚度分布测量中的应用
2007/8/20
提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法,介绍了测量系统各部分的结构,给出了测量结果.实验表明,对于硅片上的PbTiO3薄膜,测试误差小于7 nm.