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上海软X射线自由电子激光装置2023年用户研讨会在上海科技大学成功举办（图）
X射线 自由电子 激光装置 用户研讨会
2023/12/7
上海软X射线自由电子激光装置是由中国科学院上海高等研究院和上海科技大学共同建设、共同运行的大型科研基础设施。作为我国首台X射线自由电子激光用户装置已于2023年向国内外用户开放。
中国科学院上海应用物理研究所专利：一种用于软X射线谱学显微成像的原位磁场系统
中国科学院上海应用物理研究所专利：一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室
高分辨X射线成像技术已成为生物科学及材料科学等领域纳米尺度结构表征的重要手段。因此，各大同步辐射装置均建有高分辨X射线成像实验站，实现全场或扫描X射线透射显微成像以及叠层相干衍射成像等实验方法和技术，而这些成像技术均需要波带片对X射线聚焦或成像。用于X射线成像技术的波带片是一种大高宽比的微纳结构，对微纳加工技术提出了极大的挑战。目前，这种波带片只有美国、瑞士和加拿大等国家少数几家公司可以制作，国内...
用高真空磁控溅射设备分别在工作气压为0.40 Pa和0.67 Pa下制备了非晶碳膜全反射镜样品,利用X射线掠入射反射测量了膜层厚度、粗糙度和膜层密度,用原子力显微镜测量了样品的表面粗糙度,用同步辐射测量了不同工作气压下制备的非晶碳膜全反射镜的反射率,并对测量结果进行了分析讨论.测试结果表明:在0.40 Pa工作气压下制备的非晶碳膜反射镜的性能优于在0.67 Pa工作气压下制备的反射镜的性能,在掠入...
针对"水窗"波段(280~540 eV)对多层膜反射镜的应用需求,在Ti的L吸收边(452.5 eV)附近,优化设计了Co/Ti多层膜的膜系结构.计算了不同界面粗糙度条件下的反射率,结果显示,界面粗糙度对多层膜反射率有较大影响.采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制备了Co/Ti多层膜,通过将氮气引入原有的溅射气体氩气中作为反应气体,明显减小了制备的多层膜的界面粗糙度.利用X射线掠入射反射实验和透...
为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度，研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明，在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验，系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响，找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比，有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻（EUVL）光源研...
以定位20年的黑土肥料试验为平台，利用同步辐射软X射线近边吸收谱(C-1s NEXAFS)方法，研究了长期施用化肥以及化肥配施玉米秸秆对土壤有机碳官能团的影响。结果表明：与不施肥的空白处理(CK)相比，单施化肥(N，NPK)后土壤的芳香C和羧基C含量增加，脂族C和羰基C含量下降，脂族C/芳香C比值降低;与单施化肥处理相比，化肥配施玉米秸秆后芳香C含量下降而脂族C含量增加，脂族C/芳香C比值增加，并...
23.4 nm软X射线多层膜反射镜研制
极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 X射线衍射仪
2011/4/19
为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要，设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对。设计优化材料多层膜的周期厚度(d)，材料比例(Γ)，周期数(N)，计算出Ti/Si反射率曲线。通过实验优化各种镀膜工艺参数，制备出了23.4 nm的Ti/Si多层膜反射镜。利用X射线衍射仪和软X射线反射率计对Ti/Si多层膜结构和反射率进行...
软Ｘ 射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜，实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化，空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部，致使自支撑膜光学性能大幅下降．５ｎｍ至２０ｎｍ 软Ｘ 射线波段Ｚｒ具有较低的质量吸收系数和较小的密度，在该波段Ｚｒ滤光膜透过率较高．采用脱模剂法制备自支撑Ｚｒ膜，在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层ＮａＣｌ做为脱膜剂，直流磁控溅射沉积Ｚｒ膜，脱膜后的到自支撑Ｚｒ膜．为防止薄膜表面...
一种双MCP选通型30~40 ps软X射线分幅相机
选通 分幅相机 惯性约束聚变
2009/8/13
研制了一种双微通道板（Microchannel Plate,MCP）双选通型软X射线分幅相机.该相机采用两块厚度为0.5 mm的MCP,近贴放置成“V”形结构,用两列高压脉冲依次选通两块级联的MCP,通过控制两列脉冲之间的延迟时间,利用微通道板的电子渡越时间效应和非线性增益的相互作用,以损失一部分电子为代价获得比单MCP（60 ps）选通相机更短的曝光时间,并且可以降低直穿X射线造成的背景光噪音....
一种双MCP选通型30~40 ps软X射线分幅相机
选通 分幅相机 惯性约束聚变 级联
2009/3/2
研制了一种双微通道板（Microchannel Plate,MCP）双选通型软X射线分幅相机.该相机采用两块厚度为0.5 mm的MCP,近贴放置成“V”形结构,用两列高压脉冲依次选通两块级联的MCP,通过控制两列脉冲之间的延迟时间,利用微通道板的电子渡越时间效应和非线性增益的相互作用,以损失一部分电子为代价获得比单MCP（60 ps）选通相机更短的曝光时间,并且可以降低直穿X射线造成的背景光噪音....
高剥离态74W软X射线谱半连续带研究
SOSA UTA Xa法
2009/2/17
在星光–II激光装置上，用PET平晶谱仪观测了74W高离化度激光等离子体软X射线发射谱，波长范围是0.36 ~ 0.52nm。准确测量和辨认了3dj–nfj(n=5,6)4条类Ni共振线及附近类Cu、类Zn、类Ga和类Ge几个电离级16个半连续带结构谱。实验谱波长测量误差小于0.0005nm，与用相对论自旋轨道劈裂跃迁组（SOSA）模型（不可分辨跃迁组（UTA）特例）和Xa 法理论计算结果符合很好...