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材料科学 缺陷率
”
相关记录1条 . 查询时间(0.126 秒)
用临界钝化电流法和液晶法检测金属氧化物膜的
缺陷率
临界钝化电流密度法
动态散射模型
液晶
氧化物薄膜
缺陷率
1997/6/18
用临界钝化电流(CriticalPassivationCurrentDensity.CPCD)法和液晶法,研究了不锈钢上Ta2O5,ZrO2的高频溅射膜的
缺陷率
建立了CPCD法中与薄膜有关的电流密度If与膜厚d之间的关系式:If=k(1-θ)d.利用液晶的动态散射模型(DynamicScatteringMode,DSM),建立了动态无损伤检测膜
缺陷率
的新方法,并证明了这两种方法的检测结果有良好的直...
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