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本发明涉及质谱电离源中真空紫外灯的在线或离线清洗，是一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置，包括密封的电离腔，电离腔的侧壁上设置有真空紫外灯安装口，电离腔的侧壁上设有一贯穿电离腔壁面的导气管，导气管的出口端位于真空紫外灯下方，导气管入口端与臭氧发生器的气体出口相连，臭氧发生器气体入口与氧气源连接。本发明中利用臭氧发生器产生的含有高浓度臭氧气体在一定气压和温度下对紫外灯透镜上吸附的有机物氧化反应，实现对灯...
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置
中国科学院大连化学物理研究所 专利 紫外灯 灯头透镜 外表面 清洗装置
2024/1/29
本发明涉及质谱电离源中真空紫外灯的在线或离线清洗，是一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置，包括密封的电离腔，电离腔的侧壁上设置有真空紫外灯安装口，电离腔的侧壁上设有一贯穿电离腔壁面的导气管，导气管的出口端位于真空紫外灯下方，导气管入口端与臭氧发生器的气体出口相连，臭氧发生器气体入口与氧气源连接。本发明中利用臭氧发生器产生的含有高浓度臭氧气体在一定气压和温度下对紫外灯透镜上吸附的有机物氧化反应，实现对灯...
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种光学基片镀膜前的清洗方法
中国科学院大连化学物理研究所 专利 光学基片 镀膜前 清洗
2024/1/22
本发明涉及一种光学基片镀膜前的清洗方法。该操作方法采用正庚烷代替乙醚和乙醇按一定比例配成混合清洗液，滴在光学清洗无尘布上对光学石英玻璃进行擦拭清洗。在高亮度光学检测灯的照射下，观察基片的去污情况，从而达到基片清洁的目的。用此方法清洗镀膜前的光学基片可以提高光学薄膜的附着力和增强薄膜的抗激光损伤阈值，提高光学薄膜的使用寿命。
中国科学院西安光学精密机械研究所专利：一种基于共轴测距和焦距实时可调的激光清洗方法及装置
中国科学院工程热物理研究所专利：一种微纳米颗粒的激光清洗装置
中国科学院工程热物理研究所 专利 微纳米颗粒 激光清洗
2023/6/13
中国科学院工程热物理研究所专利：一种微纳米颗粒的激光清洗装置
中国科学院半导体研究所全固态光源实验室是国内从事激光清洗技术的主要研发单位之一，技术水平在国内始终保持领先，在清洗用激光器及智能清洗装备集成等一系列技术上有着雄厚的技术及人才积累。团队发明了错位排列半导体均匀泵浦结构，泵浦线阵周期性错位排列，用九维的机械结构实现光学六维旋转均匀泵浦，匀化了径向和轴向增益，提升了脉冲能量。突破了定标逐级高效放大和高峰值功率（能量）密度激光光纤柔性传输等关键技术，率先...