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1-1
共查到
“
光学工程 曝光光源
”
相关记录1条 . 查询时间(0.063 秒)
中国科学院大连化学物理研究所专利:一种以太阳光为
曝光光源
制作微流控芯片的方法及其应用
中国科学院大连化学物理研究所
专利
太阳光
曝光光源
微流控芯片
2024/1/29
一种以太阳光为
曝光光源
制作微流控芯片的方法及其应用,本发明以自然界中最易获得的太阳光作为
曝光光源
,避免了常规光刻中较为昂贵的光刻机的使用,待
曝光
的光刻胶平板放在与太阳光相垂直的方向
曝光
即可,通过UV能量检测器校正阳光下的
曝光
时长,可以得到光刻胶上各种尺寸微图案良好的
曝光
结果;这种方法简易、廉价、易于操作、环境友好,而且可以进行芯片的批量生产,期望有益于仪器购买基金不足或处于起步阶段的实验室进入到微...
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