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利用纳米压入加载曲线确定金属薄膜的屈服强度和硬化指数Ⅱ.实验及验证
屈服强度 硬化指数 纳米压入 金属薄膜
2007/12/27
通过比较实测与计算所得整体材料纳米压入加载曲线及Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ压头的面积函数, 对已建立的Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ压头绝对钝化量的确定方法进行了实验验证. 在此基础上, 测定了蒸发镀制在Ｓｉ单晶上三种不同膜厚Ａｌ膜的屈服强度和硬化指数. 并与拉伸分离法获得的结果进行了比较. 结果表明, 利用纳米压入加载曲线确定陶瓷基体上金属薄膜基本力学性能的方法是可行的.
利用纳米压入加载曲线确定金属薄膜的屈服强度和硬化指数Ⅰ.数值和模拟
屈服强度 硬化指数 金属薄膜 纳米压入
2007/12/27
针对纳米压入仪上普遍使用Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ三棱锥压头. 本文分别考虑理想与钝化两种压头尖端几何情况, 并使用三维弹塑性大应变 有限元分析软件ＡＢＡＱＵＳ, 对沉积在陶瓷基体上金属薄膜的纳米压入加载过程进行了模拟计算, 建立了膜、基材料基本力学性能参量及压头相对钝化量同纳米压入加载曲线间的函数关系, 进而提出了利用纳米压入仪测得的连续压入加载曲线确定陶瓷基体上金属薄膜屈服强度和硬化指数的一般方法.
Au/NiCr/Ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究
Au/NiCr/Ta多层膜 表面粗糙度 纳米压入
2007/12/20
文章摘要：
采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积 Au/NiCr/Ta多层金属膜利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度.结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度.
加载速率对Al膜纳米压入蠕变性能的影响
纳米压入 蠕变 Al膜
2007/11/8
文章摘要：
纳米压入仪对Si片上多晶Al膜进行的压入蠕变实验表明,加载方式对Al膜的蠕变性能有明显影响. 随加载速率和载荷的增大, Al膜的总蠕变量和应力指数均有较大升高. 且蠕变初期
可能存在异常高蠕变率. 分析认为这与是加载过程中未及发生的塑性变形的持续释放有关. 对于确定的薄膜材料及组织结构,加载过程中积攒的塑性变形量及其释放速率将影响不同加载条件下的总蠕变量和应力指数....
晶粒尺寸与保载载荷对Cu膜纳米压入蠕变性能的影响
纳米压入 蠕变 晶粒尺寸 应力指数
2007/11/8
文章摘要：
利用纳米压入仪对Si片上的多晶Cu膜进行压入蠕变研究。实验结果显示晶粒尺寸大于200 nm时，应力指数对晶粒尺寸不敏感。当晶粒尺寸小于200 nm时，因压头底部更多的晶粒参与变形, 应力指数随晶粒尺寸的降低而增大.认为薄膜材料存在一个对应力指数不敏感的最小临界晶粒尺寸lc。Cu膜的应力指数随保载载荷增大而增大，其主要原因在于高载荷下位错强化机制使蠕变率降低。
Ce基大块非晶合金在纳米压入过程中的变形行为
大块非晶合金 纳米压痕 锯齿流变 蠕变
2005/6/10
利用纳米压入技术研究了Ce基大块非晶合金的变形行为, 以及加载速率对塑性变形行为的影响规律. 结果表明, Ce基大块非晶合金在纳米压入过程中表现出的变形行为与其他体系大块非晶有显著差别. Ce60Al15Cu<>sub10Ni15合金在低加载速率下为连续的塑性变形, 在高加载速率下表现出显著的锯齿流变特征; 而Ce65Al10Cu10Ni10Nb5合金, 在所研究的加载速率范围内均为连续的塑性变形...
多晶铜膜纳米压入蠕变性能
纳米压入 蠕变 残余应力 应力指数
2004/3/29
在JGP560V磁控溅射镀膜设备上镀制多晶铜膜，利用纳米压入技术测量了其室温下的蠕变性能。 结果表明： 由于不同加载方式下， 材料加工硬化程度的不同造成了应力指数的差异， 因而， 不同加载方式对测得的铜膜蠕变应力指数有比较大的影响；由于材料在高载荷时在压头下端产生更多的位错， 阻碍了压头的压入， 使蠕变率降低， 因而， 随着保载载荷的升高， 蠕变应力指数变大。