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纳米硅薄膜复合阳极的绿色微腔式OLED的研究
P型掺杂纳米硅薄膜 聚合物有机电致发光器件 微腔
2009/8/13
采用甚高频增强型等离子体化学气相沉积技术，通过优化薄膜的沉积条件制备出高性能的PncSi∶H薄膜材料(σ=5.86 S/cm、Eopt>2.0 eV).通过XRD测量计算出薄膜<111>、<220>和<311>三个晶向上的晶粒大小分别为15 nm、17 nm和21 nm；通过Raman测量，计算出其晶化率为35％左右.实验中，将P型纳米硅薄膜与氧化铟锡一起构成有机电致发光器件的复合阳极，研究了...