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中国科学院西安光学精密机械研究所专利：一种基于二维快速反射镜的动态扫描宽幅成像控制系统及方法
宽幅智能激光SLM光刻设备HoloScanV是一款“大型激光光刻制版系统”，整版（800mmx610mm）制版时间仅4-17小时，适合于200um以上的微结构干涉图形制作。通过多光束与单光束互换功能，HoloScanV支持激光直写精密矢量化掩模图形，分辨率达210um。HoloScanV具有自主知识产权，拥有多项授权发明专利，3项软件著作权登记，江苏省优秀专利奖。HoloScanV的研制得到科技部...
江苏省先进光学制造技术重点实验室宽幅DPSSL紫外激光直写系统iGrapher810（图）
江苏省 先进光学制造技术重点实验室 宽幅DPSSL紫外激光直写系统 iGrapher810
2009/5/22
iGrapher810具有在40"尺度上进行亚微米至纳米结构图形快速制造（Nano-structrure patterning）的性能。在光斑中通过多光束干涉技术调制了100nm以上周期与准周期结构（线条、点阵、蜂窝、随机线等），图形的制作时间取决于光斑像素的尺寸，与像素内部的微纳结构无关。