搜索结果: 1-3 共查到“电子科学与技术 刻蚀技术”相关记录3条 . 查询时间(0.349 秒)
中国科学院高能物理研究所专利：一种利用离子束刻蚀技术抛光微结构侧壁的方法
中国科学院上海应用物理研究所专利：一种直接在疏水基底上实施蘸笔纳米刻蚀技术的方法