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中国科学院微电子研究所专利：高K栅介质/金属栅叠层栅结构刻蚀后聚合物去除方法
金属栅加载圆形介质波导传播特性的分析
圆形介质波导 金属栅结构 色散特性
2009/9/23
本文采用Galerkin方法分析了金属栅加载圆形介质波导在圆对称模激励时的传播特性。在推得了严格的色散方程之后,给出了TE模和TM模的色散曲线,以及禁带宽度、禁带中心频率和带内最大衰减随金属条带宽度变化曲线,并讨论了数值解的收敛特性。