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摘要 通过改变生长参数，采用热丝化学气相沉积（HFCVD）法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜，并制作了三明治结构的光电导探测器。采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌：表面粗糙度从423nm变化到15nm；晶粒越大，金刚石膜的质量越好。I-V特性测试结果表明随着晶粒尺寸的减小，金刚石膜的电阻率从1011Ω·cm减小到106Ω·cm。在5.9 keV的55Fe X射线...
