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中国科学院宁波材料技术与工程研究所三维微纳结构制造技术研究取得新进展(图)
材料技术 三维微纳结构 制造技术
2014/3/31
纳米制造技术是实现纳米结构、器件、系统生产的基础,以微纳器件制造需求或关键技术为牵引,解决微纳米制造的设计、装备、工艺以及应用等关键技术问题,是提升纳米制造技术的关键。为了便于实现材料和器件在微纳尺寸下的合成或组装,实现其高度集成化和多功能化,中国科学院宁波材料技术与工程研究所许高杰研究团队利用自行研制的三维微纳结构制造系统,成功制备出不受模板限制的三维方向具有一定取向性的曲线型结构,并实现了不同...