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中国科学院上海应用物理研究所专利：X射线微探针的激光定位装置
中国科学院上海应用物理研究所 专利 X射线 微探针 激光定位
2023/8/4
中国科学院上海应用物理研究所专利：X射线微探针的激光定位装置
航天产品的质量和寿命取决于产品设计、研制生产和试验测试全流程的可靠性，而集成电路安全可靠是航天电子系统在轨稳定工作的基础。现代集成电路制造流程中，工艺制造和设计环节均可引入芯片缺陷，在使用过程中可导致失效等。随着芯片集成度的提高,芯片正面的金属互连层不断增加，倒封装工艺得到广泛应用，从芯片正面定位缺陷位置变得愈发困难。利用激光从背部开封装的芯片进行的非接触式无损缺陷定位技术，目前在集成电路静态/动...
中国科学院国家空间中心科研人员成功自主研发出集成电路缺陷激光定位装置（图）
集成电路 激光定位 半导体器件
2022/2/16
航天产品的质量和寿命取决于产品设计、研制生产和试验测试全流程的可靠性，而集成电路安全可靠是航天电子系统在轨稳定工作的基础。现代集成电路制造流程中，工艺制造和设计环节均可引入芯片缺陷，在使用过程中可导致失效等。随着芯片集成度的提高,芯片正面的金属互连层不断增加，倒封装工艺得到广泛应用，从芯片正面定位缺陷位置变得愈发困难。利用激光从背部开封装的芯片进行的非接触式无损缺陷定位技术，目前在集成电路静态/动...