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硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
硅谐振压力 微传感器 开环测试 信号处理
1998/7/15
介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统，可测出谐振梁的幅频和相频特性，而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。开环测试中最重要的问题是所谓的同频干扰。发现通过激励电阻与拾振电阻间的分布电容耦合的激励信号是同频干扰的最终来源。用对称激励技术成功地解决了这一问题。