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搜索结果: 1-2 共查到“电子科学与技术 硅基MEMS”相关记录2条 . 查询时间(0.177 秒)
2021年3月31日，东南大学电子学院黄晓东教授牵头的国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项“硅基MEMS高能量密度薄膜锂离子电池”项目启动暨实施方案论证会在南京顺利召开。电子学院科研副院长徐申及科研院等相关部门负责同志出席了论证会。
滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件，本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器。设计制作了MEMS滤波器的核心部件谐振器，测试结果显示该谐振器无载Q值大于180，频率误差控制在2%以内。以此为基础采用理论计算与实验设计相结合的方法设计了一个Ka波段硅基MEMS滤波器。滤波器中心频率为30.3GHz，插入损耗1.5dB，相对带宽5%。芯片尺寸为10.0mm×2...

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