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本发明涉及采用紫外或深紫外激光源的高空间分辨光发射电子显微镜，包括紫外或深紫外激光器、光发射电子显微镜PEEM，紫外或深紫外激光器发射的激光光路垂直入射到PEEM的样品台。在于将能量高于5eV的固定波长或连续波长的(深)紫外激光施用于光发射电子显微镜；通过激光与PEEM连接系统将激光以一种独特的垂直入射样品表面的方式激发固体表面光电子；采用电子光学系统将表面光发射电子成像从而获得表面图像信息；应用...
中国科学院高能物理研究所专利：一种高精度高空间分辨长程面形检测系统