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根据《关于表彰2020年度中国机械工业科学技术奖奖励项目的决定》，由中科院微电子所牵头，联合中科院西安光机所、清华大学共同完成的“飞秒激光跟踪测量技术及应用”项目荣获2020年度中国机械工业科学技术发明奖特等奖.该奖项为本年度技术发明类唯一的特等奖。“飞秒激光跟踪测量技术及应用”项目的微电子所主要完成人包括，周维虎、董登峰、纪荣祎、张滋黎、崔成君、程智、石俊凯。项目主要依托于国家重大科学仪器设备开...
