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金属钯复合膜对多晶硅循环氢气纯化工业性试验取得成功
金属钯复合膜 多晶硅循环氢气纯化工业性 试验成功
2011/6/14
近日，中科院大连化学物理研究所徐恒泳研究员领导的烃类选择氧化研究组（801组）和大连华海制氢设备有限公司共同研发的金属钯复合膜氢气纯化装置工作取得重要进展，在四川峨眉半导体材料研究所完成了200m3/h规模工业化示范。该技术彻底解决了多晶硅生产循环氢气中痕量和超痕量杂质难以去除的难题。