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【北京理工大学】飞秒激光时空整形的电子动态调控微孔加工（图）
飞秒激光时空整形 电子动态调控 微孔加工
2022/3/24
微孔作为一种常见结构，在新能源、消费电子、生物制药、航空航天、生化传感等领域获得了广泛的应用。然而在实际应用中，对于高品质微孔的加工，传统的方法具有一定的局限性：机械钻孔易操作，但难以加工小直径、高深径比的微孔；电火花钻孔只适用于导电材料并且精细加工难度大；电子束、聚焦离子束钻孔可实现纳米至亚微米精度的微孔加工，但加工条件苛刻，加工效率慢。