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中国科学院金属研究所专利：一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材
中国科学院金属研究所 专利 电弧离子镀 沉积 磁性材料涂层 复合结构 靶材
2023/9/25
本实用新型属于薄膜制备领域,具体地说是一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材。复合结构靶材为靶壳及磁性材料靶材构成,靶壳紧固于磁性材料靶材外围；其中,靶壳为低饱和蒸气压和低二次电子发射产额的金属靶壳；或者,靶壳为陶瓷相材料层依附于可加工金属环上形成的靶壳,可加工金属环紧固于磁性材料靶材外围,陶瓷相材料层依附于可加工金属环在与磁性材料靶材的靶面平行方向的面上。本实用新型解决了电弧离子镀难于...
弧电流对电弧离子镀CrN硬质涂层组织性能的影响
电弧离子镀 CrN涂层 弧电流 组织结构
2011/8/1
采用电弧离子镀技术在钛合金表面制备CrN涂层,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及透射电镜(TEM)分析了弧电流对涂层组织结构以及力学性能的影响。结果表明,随着弧电流的升高,涂层沉积速率增大,表面熔滴的数量及尺寸增大,表面平整度明显下降。不同弧电流条件下均沉积出CrN单相涂层。弧电流改变了粒子、离子的轰击作用,从而影响到涂层表面的能量状态,CrN涂层的择优生长由(111)变为(200...
电弧离子镀NiCoCrAlY涂层的组织结构及初期氧化
NiCoCrAlY涂层 电弧离子镀 显微组织
2008/7/31
采用XRD, SEM, TEM和光激发荧光谱等技术对电弧离子镀制备的NiCoCrAlY涂层的组织结构和初期氧化的机理进行了研究. 结果表明, 电弧离子镀方法沉积的NiCoCrAlY涂层具有纳米晶体结构,呈明显的层状生长. 真空退火后涂层内的层状结构消失, 涂层组织更致密, 晶粒明显长大, 有孪晶出现. 涂层在真空退火后表面已经生成一层很薄的以α-Al2O3为主的氧化膜, 在高温氧化过程中, 涂层表...