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大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题
波像差测量 剪切干涉仪 大数值孔径(NA)物镜 光刻物镜
2015/11/25
设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径(NA)物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题。首先,根据棋盘光栅的远场衍射函数分析了棋盘光栅的衍射效率和衍射级分布,给出了剪切干涉图数据的处理方法。接着,根据球面光瞳坐标与平面探测器坐标的投影关系,分析了光瞳坐标畸变的影响;采用几何光线追迹方法,分析了光栅方程非线性对系统误差...
提出了一种新型大数值孔径介质结构透镜,能量利用率达到了44%。通过数值仿真FDTD计算证明该聚焦器件能实现高的能量利用率和接近衍射极限的聚焦光斑,且聚焦光斑的旁瓣很小。其次,对该透镜的色散性能进行了研究,发现该透镜具有与普通透镜相反的色散特性。故该透镜可以与普通透镜组合消色差。另外,该透镜克服了最小特征尺寸,实现了大数值孔径,针对波长10.6 μm设计了相同口径、不同F数的介质结构透镜,最小F数达...
HSL型大数值孔径(NA=0.6)自聚焦透镜
HSL型 大数值孔径 自聚焦透镜
2008/12/19
HSL型大数值孔径自聚焦透镜属于现代光学的一个重要分支学科——梯度折射率光学(GRIN Optics)材料的一种微小透镜系列,其数值孔径NA≥0.60,空间分辨率可达350Lp/mm(对线/毫米)(MTF=0.5),成象衍射光斑小(<0.90μm,焦距短≤1.60mm,光学稳定性和热稳定性好,具有良好的光准直,光纤耦合,合聚和成像特性,可用于超细型内窥镜、传真机、复印机、光纤连接器、耦合器、光开关...